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光刻机又称掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，其用于在硅晶圆（芯片）上转印半导体电路图案的工序。而光刻机工件台是光刻机的三大核心部件之一。华卓精科是国内首家自主研发、实现光刻机双工件台商业化的公司，并成为国产光刻机公司上海微电子的核心子系统供应商。招股书（上会稿）披露，目前该公司光刻机双工件台技术只有上海微电子一家有该类采购需求，2017年、2018年该部分营收分别为1521.37万元、795万元。
